Puslaidininkių specializuotų dujų sistemų žalvario jungiamųjų detalių grynumo valdymas
Įvadas į puslaidininkių specialias dujų sistemas
Puslaidininkių gamybos procesai reikalauja ypač valomos, labai kontroliuojamos aplinkos.
Specialios dujų pristatymo sistemos vaidina svarbų vaidmenį ėsdinant, nusėdus, dopingo ir valymo veiksmus.
Tokios dujos, kaip silanas, amoniakas, vandenilio chloridas ir azoto trifluoridas, reikalauja didelio grynumo transportavimo takų.
Žalvario jungiamosios detalės, nors ir ne visada pirmieji pasirinkimai, kartais taikomi antrinėse linijose ar palaikymo sistemose.
PrižiūrimasCheminis grynumas ir konstrukcinis vientisumasŽalvario jungiamosios detalės yra gyvybiškai svarbios norint išvengti užteršimo.
Materialaus grynumo svarba puslaidininkių programose
Puslaidininkiai yra ypač jautrūs molekulinio lygio priemaišoms.
Netgi milijardų (PPB) užterštumos iš vamzdynų ar jungiamųjų detalių gali sukelti išeigos praradimą ar prietaiso gedimą.
Dujų linijose turi būti kontroliuojamos dujų linijose esančios korozijos ar paviršiaus reakcijos.
Tai daro medžiagų pasirinkimą ir grynumo valdymą, esantį dujų sistemos projektavimui.
Žalvaris, tinkamai apdaila ir kokybės kontrole, gali atitikti šiuos standartus nekritinėse dujų linijose.
Žalvario medžiagos kompozicija ir rūpesčiai
Standartinis žalvaris yra vario ir cinko lydinys, kartais turintis švino ar skardą.
Tokios priemaišos kaip sieros, fosforo ar liekanos aliejai gali pakenkti grynumo lygiui.
Aukšto švino žalvariai yra griežtai vengiami švaraus ar puslaidininkių.
TikŽemos švino, atsparus dezincification (DZR)Žalvaris turėtų būti svarstomas tokioje aplinkoje.
Gamintojai turi pateiktiMedžiagos pažymėjimaipatvirtinantis Semi, ASTM ar ROHS standartų laikymąsi.
Paviršiaus apdaila ir elektros energijos reikalavimai
Vidinė žalvario jungiamųjų detalių paviršiaus apdaila daro didelę įtaką dujų sistemos švara.
Grubūs ar porėti paviršiai sulaiko drėgmę, angliavandenilius ir kietąsias daleles, sukeldami ilgalaikį užteršimą.
Norėdami tai kovoti, jungiamosios detalės dažnai būnaElektros energijapasiekti lygų, pasyvų vidinį paviršių.
Tikslinio paviršiaus šiurkštumas (RA) paprastai yra mažesnis nei0.2 µmDujų paskirstymo linijoms.
Post-polizavimas, jungiamosios detalės valomosUltrapuras tirpikliaiPo to džiovinimas vakuume ir azoto valymas.
Dalelių valdymas ir švaraus kambario pakuotė
Puslaidininkių dujų sistemų žalvario jungiamosios detalės turi atitikti griežtusDalelių skaičiaus specifikacijos.
Bet kokios laisvos dalelės ar metaliniai dribsniai gali būti pražūtingi dujoms jautriems vafliams.
Norėdami tai išspręsti, jungiamosios detalės yra didelės grynumoUltragarsinis valymasNaudojant „Di Water“ ir 100 klasės švarios kambario standartus.
Išvalytos, jungiamosios detalės yraDvigubas maišasŠvaros kambario pakuotėse, kad būtų išvengta pakartotinio užteršimo.
Etiketėse dažnai yra daug atsekamumas, informacijos apie partiją valymo ir drėgmės kontrolės rodiklius.
Pasyvavimas ir dangos cheminiam stabilumui
Kadangi žalvaris yra reaktyvesnis nei nerūdijančio plieno, paviršiaus pasyvumas yra labai svarbus.
Pasyvavimo metodai apima kontroliuojamą oksidaciją, be chromuotų dangų arbaNikelio danga.
Nikelio ar elektros nikelio dangos tarnauja kaip barjerinis sluoksnis, kad būtų išvengta išplovimo ar oksidacijos.
Ši danga taip pat padidina cheminį suderinamumą su tokiomis dujomis kaip HF ar CLF₃.
Reguliarūs dangos storio patikrinimai ir adhezijos bandymai užtikrina ilgaamžiškumą slėginėse sistemose.
Patikrinimas, sertifikavimas ir atsekamumas
Didelio grūdo žalvario jungiamosios detalės turi praeitiKelių lygių patikrinimasprieš integraciją į dujų linijas.
Testavimas apima:
Helio nuotėkio bandymas (paprastai<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Liekamoji dujų analizė (RGA)
Mikrobalansavimo dalelių išsiskyrimo bandymai
XRF arba ICP-MS medžiagos patikrinimui
Kiekvienas montavimas turėtų būti visiškaiatsekamas pagal partijos numerį, su asocijuotaatitikties sertifikatai (COC).
Kai kurioms galimybėms reikalingas trečiųjų šalių auditas arba ISO 14644 sertifikavimo dokumentacija.
Taikymo ribos ir alternatyvos
Nors žalvaris gali atitikti grynumo kriterijus, jo naudojimas yraapsiriboti nekritiniais keliaisPuslaidininkiniuose Fabs.
Ypač aukšto grynumo (UHP) dujų linijoms,316L nerūdijančio plieno su VCR arba orbitos suvirinimuyra pageidautina.
Žalvario jungiamosios detalės gali būti naudojamos išmetimo sistemose, valymo linijose arbaApdorokite aušinimo vandens sistemas.
Kai tinkamai pasirinkta ir tinkamai gydoma, „Brass“ suteikia ekonomišką, stabilų sprendimą.
Ateities dengimo ir valymo technologijos pažanga gali išplėsti savo naudingumą puslaidininkių programose.
Išvada
Puslaidininkių specializuotų dujų sistemų žalvario jungiamųjų detalių grynumo valdymas yra sudėtingas ir būtinas.
Nuo medžiagų pasirinkimo iki paviršiaus apdailos ir pakavimo, kiekvienas žingsnis daro įtaką dujų kokybei.
Nors žalvaris nėra idealus pritaikant didelio grynumo programą, pažangi gydymas ir kokybės kontrolė gali būti perspektyvi tam tikrose zonose.
Atliekant griežtą patikrinimą, pasyvavimą ir sertifikavimą, šios furnitūros gali saugiai palaikyti naujos kartos lustų gamybos aplinką.
Susisiekite su Ifanu
Telefonas:+86 15088288323
El. Paštas:sales24-ifan@ifangroup.com
